精密陶瓷部件是半導(dǎo)體設(shè)備關(guān)鍵部件 我國必須實現(xiàn)進口替
來源:www.newsijie.com
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作者:周圓
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發(fā)布時間: 769天前
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精密陶瓷部件主要是指應(yīng)用在半導(dǎo)體設(shè)備中的高精密復(fù)雜結(jié)構(gòu)陶瓷部件。精密陶瓷部件是半導(dǎo)體設(shè)備的關(guān)鍵部件,其研發(fā)生產(chǎn)直接影響半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展。精密陶瓷部件需要具備高度輕量化、高尺寸精度特點,并且較多產(chǎn)品存在中空閉孔等復(fù)雜結(jié)構(gòu),因此其成型、燒結(jié)、制造、加工等環(huán)節(jié)技術(shù)壁壘高,生產(chǎn)難度大。