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       精密陶瓷部件主要是指應(yīng)用在半導(dǎo)體設(shè)備中的高精密復(fù)雜結(jié)構(gòu)陶瓷部件。精密陶瓷部件是半導(dǎo)體設(shè)備的關(guān)鍵部件，其研發(fā)生產(chǎn)直接影響半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展。精密陶瓷部件需要具備高度輕量化、高尺寸精度特點，并且較多產(chǎn)品存在中空閉孔等復(fù)雜結(jié)構(gòu)，因此其成型、燒結(jié)、制造、加工等環(huán)節(jié)技術(shù)壁壘高，生產(chǎn)難度大。

　　半導(dǎo)體設(shè)備位于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈上游，產(chǎn)品種類眾多，主要有光刻機、刻蝕機、離子注入設(shè)備、薄膜沉積設(shè)備、清洗設(shè)備、拋光設(shè)備等。目前，中國大陸地區(qū)是全球最大的半導(dǎo)體市場，對半導(dǎo)體設(shè)備需求旺盛。根據(jù)國際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會（SEMI）公布的數(shù)據(jù)，2021年，全球半導(dǎo)體設(shè)備銷售額達到1026億美元，同比增長44%，其中，中國大陸地區(qū)半導(dǎo)體設(shè)備銷售額達到296億美元，同比增長58%，在全球中份額占比最大。

　　陶瓷部件具有結(jié)構(gòu)穩(wěn)定、剛度高、導(dǎo)熱性好、熱穩(wěn)定性好、膨脹系數(shù)低等優(yōu)點，為實現(xiàn)高制程精度，半導(dǎo)體設(shè)備需要采用精密陶瓷部件。以光刻機為例，其需要的精密陶瓷部件主要包括磁鋼骨架、工件臺、水冷板、導(dǎo)軌、反射鏡、靜電吸盤、真空夾盤、手臂等，這些制品在尺寸、結(jié)構(gòu)、厚度、輕量化、精度、光學性能等方面均具有高要求。但陶瓷硬度大、脆性大、熔點高，因此精密陶瓷部件制備難度高。

　　根據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心發(fā)布的《2022-2026年精密陶瓷部件行業(yè)深度市場調(diào)研及投資策略建議報告》顯示，在全球范圍內(nèi)，僅有少數(shù)企業(yè)可以實現(xiàn)半導(dǎo)體設(shè)備用精密陶瓷部件規(guī)?；a(chǎn)，代表性企業(yè)主要是日本Kyocera（京瓷）、美國CoorsTek，這兩大企業(yè)在全球半導(dǎo)體設(shè)備用精密陶瓷部件市場中合計占有率達到72%。全球精密陶瓷部件市場集中度高，其他少數(shù)能夠生產(chǎn)精密陶瓷部件的企業(yè)份額占比較小。

　　我國精密陶瓷部件生產(chǎn)實力弱，需要主要依靠進口。作為半導(dǎo)體生產(chǎn)與消費大國，我國半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)規(guī)模不斷擴大，制造技術(shù)不斷進步，目前刻蝕機、清洗機、PVD、CVD等部分國產(chǎn)設(shè)備正在逐步進入半導(dǎo)體制造供應(yīng)鏈，并在加大力度突破光刻機等高技術(shù)含量設(shè)備技術(shù)瓶頸。半導(dǎo)體設(shè)備制造能力直接影響電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展，而精密陶瓷部件是半導(dǎo)體設(shè)備的關(guān)鍵部件，必須實現(xiàn)進口替代。

　　新思界行業(yè)分析人士表示，近年來，我國政府陸續(xù)出臺了多項政策鼓勵支持半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展，在國際政治、經(jīng)濟形勢多變背景下，為避免芯片等核心元器件供應(yīng)被“卡脖子”，我國自主研發(fā)力度不斷加大。在此背景下，半導(dǎo)體設(shè)備以及精密陶瓷部件自主生產(chǎn)的重要性日益突出。2022年兩會期間，臺盟中央提交了“關(guān)于進一步加快半導(dǎo)體精密陶瓷部件產(chǎn)業(yè)發(fā)展的提案”，未來精密陶瓷部件行業(yè)受關(guān)注度將進一步提升，能夠突破技術(shù)瓶頸、實現(xiàn)精密陶瓷部件自主生產(chǎn)的企業(yè)發(fā)展空間巨大。