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精密陶瓷部件主要是指應(yīng)用在半導(dǎo)體設(shè)備中的高精密復(fù)雜結(jié)構(gòu)陶瓷部件。精密陶瓷部件是......
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本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了精細(xì)陶瓷常溫耐磨性的術(shù)語和定義、原理、儀器、試驗方法和檢測報告的要求。
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