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精密陶瓷部件是半導體設備關鍵部件 我國必須實現(xiàn)進口替
精密陶瓷部件主要是指應用在半導體設備中的高精密復雜結構陶瓷部件。精密陶瓷部件是半導體設備的關鍵部件,其研發(fā)生產直接影響半導體產業(yè)發(fā)展。精密陶瓷部件需要具備高度輕量化、高尺寸精度特點,并且較多產品......
本標準規(guī)定了精細陶瓷常溫耐磨性的術語和定義、原理、儀器、試驗方法和檢測報告的要求。
本標準規(guī)定了用彎曲強度衰減來表征精細陶瓷抗熱震性能試驗方法的術語和定義、原理、儀器、試樣、試驗步驟、抗熱震性計算和試驗報告